MEMS 与纳米技术

面向 MEMS 与纳米技术的 CAD 转换

MEMS 和纳米技术工程师依靠 LinkCAD 在 CIF、GDSII、DXF 及其他掩模版图格式之间转换。清理几何图形、修复断开的多边形,并在一个工具中完成制造前准备。

MEMS 工程师选择 LinkCAD 的原因

解决常见 MEMS 转换挑战

CIF ↔ DXF 转换

将大学常用的 CIF 掩模图纸转换为 DXF 以用于商业制造,或将 DXF 转回 CIF。LinkCAD 支持所有已知 CIF 变体,包括 Cle CIF2.0+。

GDSII 掩模版图

导入和导出 GDSII 文件,这是 IC 与 MEMS 掩模数据事实上的标准。保留单元层次结构、图层信息和多边形数据。

几何修复

修复自相交多边形、合并重叠形状、连接断开的导线并自动检测孔洞 — 对干净的掩模数据至关重要。

多边形合并

合并重叠多边形,防止光刻掩模制造中的过度曝光。可选择保留原始多边形轮廓。

PostScript 掩模输出

生成经过优化的 PostScript 输出,用于通过高分辨率激光打印机制作低成本掩模。

批量自动化

使用命令行或 Python 脚本自动执行重复的掩模转换,适合生产工作流程。

准备转换您的 MEMS 设计了吗?

下载免费试用版,几分钟内即可转换第一个文件。